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爱德华兹真空泵的新型产品Edwards iXH 100干式半导体真空泵是一款高效的真空泵，专为半导体制造工艺设计。这款真空泵的特性和性能使其在半导体和太阳能制造工艺中具有广泛的应用。
爱德华兹iXH 100干式半导体真空泵的最大速度为100立方米/小时，系统功率为2.1 kW，入口连接为ISO 63。这款真空泵的电压范围为380-460 V，频率为50/60 Hz，制造商零件编号为ACA102121000。
iXH系列干泵的设计是模块化且高度可配置的，可以轻松满足各种太阳能和半导体制造工艺的现场安装和性能要求。这些组件可以堆叠在一起，以实现业界最小的占地面积。配置成满足特定应用要求并由单个控制器管理的多个iXH模块，对操作员而言，是易于使用的无缝集成真空系统。
与上一代的Edwards泵相比，用于苛刻工艺的iXH系列干泵提供了更高的工艺能力并降低了拥有成本（CoO）。通过将能耗降低10％，延长检修间隔并减少计划外停机时间来降低CoO。它们具有宽广的温度范围（有助于最大程度地减少副产品积聚），极大的粉末处理能力，独特的Gas Buster™技术以及创新的泵密封技术，有助于延长工艺寿命并降低泄漏风险。
新的Edwards iXH 100干式半导体真空泵的价格为$31,465.47，但现在可以节省$616.97，实际价格为$30,848.50。此外，这款真空泵还有完整的12个月保修。
总的来说，新型Edwards iXH 100干式半导体真空泵是一款高效、可靠且具有高性价比的真空泵，非常适合在半导体和太阳能制造工艺中使用。
iXH 干式泵系列在严苛工艺环境下的工作能力、可靠性和更低的拥有成本方面树立了新标杆。
宽广的温度范围使您可以对真空设备进行优化，更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
iXH Mk2 干式泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命，并且可以显著提高功效
创新的密封技术可以延长制程寿命并降低泄漏风险
采用 XCEDE 技术，增强了耐腐蚀性。
