旋片式真空泵工作原理图

旋片式真空泵，也被简称为旋片泵，是一种油封式的机械真空泵。它的工作压强范围在101325到1.33×10-2(Pa)，因此被归类为低真空泵。旋片泵可以独立使用，也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。目前，它已被广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油以及医药等生产和科研部门。

旋片泵能够抽取密封容器中的干燥气体，如果配备有气镇装置，还可以抽取一定量的可凝性气体。然而，它不适合抽取氧含量过高、对金属有腐蚀性、会与泵油发生化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获取设备之一，通常为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种类型。双级旋片泵是将两个单级泵在结构上串联起来。通常，为了获得较高的真空度，旋片泵多做成双级的。旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

旋片泵的工作原理示意图如下所示：

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等部分组成。在旋片泵的腔内偏心地安装有一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者之间有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的两个旋片。在旋转时，由于离心力和弹簧的张力，使得旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。

两个旋片将转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积逐渐增大，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积逐渐缩小，正处于排气过程。居中的空间B的容积也逐渐减小，正处于压缩过程。由于空间A的容积逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。

当空间A与吸气口隔绝，即转至空间B的位置时，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩的气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由于泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时，总的压缩比由两级来负担，因此提高了极限真空度。